中图仪器SJ6000激光干涉仪

激光干涉仪可对机床、三测机及各种定位装置进行高精度的（位置和几何）精度校正，并可完成按标准测量各项参数，如线形位置精度、重复定位精度、角度、直线度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它还具有若干为机床厂商和用户所欢迎的选择功能，如自动螺距误差补偿（适用大多数控系统），机床动态特性测量与评估，回转坐标分度精度标定，触发脉冲输入、输出功能等。

中图仪器SJ6000激光干涉仪采用进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术，实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出；采用高精度环境补偿模块、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量；结合相应镜组还能实现角度、直线度（平行度）、平面度、垂直度、回转轴等参数的测量，并进行动态分析。

中图仪器SJ6000激光干涉仪性能特点：

1.测量精度高、速度快，稳定性好

①使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析

3.软件界面友好

①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。

③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。

中图仪器SJ6000激光干涉仪技术参数：

      系统性能

²    测量方式：单频

²    稳频精度：0.05ppm

²    动态采集频率：50 kHz

²    预热时间：约6分钟

²    工作温度范围：(0~40)℃

²    环境温度范围：(0~40)℃，环境湿度：(0~95)%RH

²    存储温度范围：(-20~70)℃

      环境补偿示值误差

²    空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    材料温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    空气湿度传感器：±6%RH  (0~95) %RH

²    大气压力传感器：±0.1kPa

      线性测量

²    测量距离：(0~40)m

²    测量精度：0.5ppm (0~40)℃

²    测量分辨力：1nm

²    测量最大速度：4m/s

      角度测量

²    轴向量程：(0~15)m

²    测量范围：±10°

²    测量精度：±(0.04%R)″ (R为显示值，单位：″)

²    测量分辨力：0.1″

      平面度测量

²    轴向量程：(0~15)m

²    测量范围：±1.5 mm

²    测量精度：±(0.6%R+0.02 M²) μm  (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)

²    基板尺寸：180mm可调，360mm可调

测量分辨力：0.1μm

      直线度测量

²    轴向量程：(0.1~4.0)m

²    测量范围：±3mm

²    测量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M²) μm  (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)

²    测量分辨力：0.01μm

      垂直度测量

²    轴向量程：(0.1~3.0)m

测量范围：±3mm

²    测量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″  (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)

²    测量分辨力：0.01μm/m

      回转轴精度测量

²    角度测量范围：(0~360)°

²    测量精度：±1″

最高转速：10rpm

锂电池供电，蓝牙传输数据。

中图仪器SJ6000激光干涉仪使用注意事项：

  •  (1)避免现场与仪器箱内温差较大时，直接开箱使用；

  •  (2)运输、使用中避免剧烈碰撞；

  •  (3)仪器线缆要防止碾、压，线缆接口防止变形；

  •  (4)多尘的环境中，要注意光学镜组放尘，测量间隙较长时，注意将激光光闸关闭，防止灰尘进入激光器；

  •  (5)清洗光学镜组要使用高质量的擦拭纸、清洗液。