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国产激光干涉仪

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  • 深圳市中图仪器科技有限公司
  • 2022-09-20 12:12:25.0
  • 深圳
  • SJ6000
  • 面议
  • 1

【详细说明】

 

 激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点,激光干涉仪,则是以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光干涉仪是激光在计量领域中最成功的应用之一。


国产激光干涉仪(SJ6000)采用进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术,实现快速(6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出;采用高精度环境补偿模块、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量;结合相应镜组还能实现角度、直线度(平行度)、平面度、垂直度、回转轴等参数的测量,并进行动态分析。

国产激光干涉仪(SJ6000)工作原理:
激光干涉仪发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉(见图)。若光程差没有变化时,探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时,探测器会在每一次光程变化时,在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。



国产激光干涉仪(SJ6000)技术参数:

      系统性能

²    测量方式:单频

²    稳频精度:0.05ppm

²    动态采集频率:50 kHz

²    预热时间:约6分钟

²    工作温度范围:(0~40)

²    环境温度范围:(0~40),环境湿度:(0~95)%RH

²    存储温度范围:(-20~70)

      环境补偿示值误差

²    空气温度传感器:±0.1 (0~40),分辨力0.01

²    材料温度传感器:±0.1 (0~40),分辨力0.01

²    空气湿度传感器:±6%RH  (0~95) %RH

²    大气压力传感器:±0.1kPa

      线性测量

²    测量距离:(0~40)m

²    测量精度:0.5ppm (0~40)

²    测量分辨力:1nm

²    测量最大速度:4m/s

      角度测量

²    轴向量程:(0~15)m

²    测量范围:±10°

²    测量精度:±(0.04%R)″ (R为显示值,单位:″)

²    测量分辨力:0.1″


      平面度测量

²    轴向量程:(0~15)m

²    测量范围:±1.5 mm

²    测量精度:±(0.6%R+0.02 M2) μm  (R为显示值,单位:μmM为测量距离,单位:m)

²    基板尺寸:180mm可调,360mm可调

测量分辨力:0.1μm

      直线度测量

²    轴向量程:(0.1~4.0)m

²    测量范围:±3mm

²    测量精度:±(0.5+0.1%R +0.1M2) μm  (R为显示值,单位:μmM为测量距离,单位:m)

²    测量分辨力:0.01μm

      垂直度测量

²    轴向量程:(0.1~3.0)m

测量范围:±3mm

²    测量精度:±(0.5+0.5%R+0.2M)″  (R为显示值,单位:M为测量距离,单位:m)

²    测量分辨力:0.01μm/m

      回转轴精度测量

²    角度测量范围:(0~360)°

²    测量精度:±1″

最高转速:10rpm

锂电池供电,蓝牙传输数据。

 

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