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【详细说明】
低温等离子体是继固态,液态,气态之后的物质第四态,当外加电压达到气体的放电电压时,气体被击穿,产生包括电子,各种离子,各种原子和自由基在内的混合气体。放电过程中虽然电子温度很高,但重粒子温度很低,整个体系呈现低温状态,所以称为低温等离子