比利时IMEC推出第一个硅集成石墨烯光电吸收调制器
2015-1-8 来源： 作者：
国外国防科技文献资料快报
[据今日半导体网站2014年12月30日报道] 比利时微电子中心（IMEC）宣布推出业界第一个硅集成石墨烯光电吸收调制器（EAM），调制速度为10千兆比特/秒。2014年12月15日在旧金山举行的国际电子器件会议（IEDM）上报道了此调制器。比利时根特大学的IMEC联合实验室也参与了此项研究。
IMEC认为，石墨烯具有高调制速度、小占地面积和宽频带非热操作特性，是实现集成光学调制器的有前景材料，其理想性能可用于未来芯片级光互连。该器件由一个平坦化绝缘体上硅（SOI）脊形波导和其顶部的50微米长石墨烯氧化硅电容器结构所组成。EAM在工作波长1550nm、波长范围80nm时实现光插入损耗小于4dB，消光比为2.5dB。在20癈~ 49癈温度区间可维持类似性能。研究团队认为在热稳定性和光带宽指标上此调制器结构优于目前最先进的硅锗（SiGe）EAM。
IMEC的3维和光学技术部主任Philippe Absil评论道，来工作的重点是进一步提高石墨烯EAM的调制速度，数值与高度优化的硅(锗) 调制器30-50千兆比特／秒相接近。
展望长远，IMEC和根特大学致力于开发可扩展、可制造硅基光互连技术，以用于电信和数据通信业。IMEC最近加入了石墨烯旗舰项目，此项目是欧洲从原料生产到组件和系统的覆盖整个价值链的10亿欧元项目。（工业和信息化部电子科学技术情报研究所）
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